所谓等离子体，就是通过放电、放热、辐射等方法使气体电离，当粒子数达到一定值时所形成的含电子、离子、原子、分子、自由基等微小粒子，且正负电荷数相等、并具有导电性的流体。等离子体是物质存在的基本形态之一，与固、液、气三态并列成为物质的第四态。等离子体的研究早在1808年就由Davy展开研究，而“等离子体”这一概念是由Langnuir在十九世纪三十年代提出的。按照粒子的温度，等离子体可分为两大类，即低温等离子体和高温等离子体{四川国唯环保工程（技术）有限公司}。

设电子温度为Te，离子温度为Ti，中性粒子温度为 ，则当Te>Ti时，称为低温等离子体；当Te,Ti、Tg近似相等时，则称为高温等离子体。等离子体中含有大量的活性粒子，如OH自由基和O 等，它们能与各种有机及无机污染物发生多种化学反应，从而达到高效、彻底地去除污染物的目的。

由于低温等离子体中存在着很多活性很高的粒子如电子、粒子、活性基团等，所以它的化学活性很高，而能跟许多难降解的污染物发生反应，使被处理的污染物得以转化或分解。    

一般来说，由于废气中污染物的浓度比较低，{四川国唯环保工程（技术）有限公司}所以用低温等离子体技术(Low temperature plasma technique)处理废气具有节能减耗和处理彻底的优点。

等离子气体处理技术可适用于但不限于以下方面：

1、处理TSP和飘尘

利用低温等离子体技术处理TSP和飘尘，一般是通过电晕放电产生低温等离子体，其中的电子和离子在有场强梯度的作用下与废气中的颗粒物相互碰撞并附在这些粒子上，使之成为荷电粒子。荷电粒子再在电场力的作用下向集尘极扩散，并在集尘极上沉积，从而达到除尘的目的。

2、脱硫、脱硝应用

现行的湿法脱硫、脱硝技术以及触媒还原法脱硫、脱硝技术等都具有成本高、工艺复杂、处理过后容易产生二次污染等缺点。

低温离子技术利用高压脉冲电源产生具有高能电子的等离子体来激活废气中的SO 和NO ，再加入NH 使之与被激活的气体分子发生反应，从而生成NH4SO 和NH4NO 。(NH4)2sO 和NH4NO都可以作为农业上的肥料，所以该法具有成本低、反应速度快、处理彻底的优点，最重要的是它能把废气中的SO 和NO 转化成肥料来加以应用，从而起到了化害为宝的作用。

3、处理温室气体

低温等离子体中具有活性很高的氧原子自由基(0)，氧原子自由基能将废气中的CO氧化成CO2，，然后进一步将CO2 分解成C、O2 ，或将之与其它化合物合成醇、烃、醛、碳酸二甲酯、甲酸及其衍生物等{四川国唯环保工程（技术）有限公司}。

4、处理挥发性有机物VOCs

利用低温等离子体处理VOCs，原理为使低温等离子体中的高能电子与VOCs分子产生一系列化学反应，从而将VOCs转化或降解为无害物质的方法。

主要有: 电子束照射法、介质阻挡放电法、沿面放电法和电晕放电法。{四川国唯环保工程（技术）有限公司}

适用行业：家具制造、汽车喷漆、喷涂、装饰纸板、LED电子工业、造船行业等。

5、恶臭净化

传统的恶臭净化方法有稀释法、燃烧法、洗涤法、吸附法和催化转化法等，这些方法都具有净化不够彻底、净化气体种类少、能耗高、操作要求高、易受杂质干扰等缺点。

等离子体去除恶臭的原理主要有两个：①是利用高能电子的瞬时高能量来打开有害气体分子的化学键，使之直接分解成单质原子或无害分子；②是在大量高能电子、离子、激发态粒子和自由基等活性粒子的作用下氧化分解。一般来说，主要有三个过程：

(1)在高能电子的作用下，产生强氧化性自由基如O、OH、HO2等：

(2)有机物分子与高能电子发生非弹性碰撞，获取能量而进入激发态，进而化学键断裂，分解成小碎片基团和原子；

(3)第一步产生的强氧化性自由基O、OH、HO2 等与激发原子、有机物分子、破碎基团、其它自由基等发生 系列反应，使有机物分子最终被氧化降解为简单的CO、CO2、H2O。这一步的去除率高低与电子的能量高低及有机物分子化学键能的大小有关。